藤田(重慶)精密儀器設(shè)備有限公司
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服務(wù)熱線：023-66376665
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產(chǎn)品中心
PRODUCTS CENTER
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產(chǎn)品中心檢測(cè)、計(jì)量類日本Otsuka大塚Smart膜厚儀日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀
產(chǎn)品型號(hào)：Smart膜厚儀
更新時(shí)間：2026-06-09
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪 問(wèn) 量 ：23
023-66376665
可攜帶至現(xiàn)場(chǎng)的手持式
日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀Smart
● 可測(cè)量0.1μm單位
● 具有形狀的樣品也可非破壞的測(cè)量
● 不論基材材質(zhì)、可測(cè)量其鍍膜
日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀Smart
與桌上型光學(xué)膜厚儀相比，Smart膜厚儀在“現(xiàn)場(chǎng)"以非破壞式直接量測(cè)樣品，且可以量測(cè)特殊形狀樣品。
與接觸式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不僅不會(huì)破壞您的樣品，也不會(huì)因用戶不同而產(chǎn)生誤差且遠(yuǎn)高于接觸式膜厚的量測(cè)精度。
與渦電流/電磁式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不需要制作檢量線，且可以量測(cè)非金屬基材并且得到絕對(duì)值！
非接觸式載臺(tái)
對(duì)于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品，可以通過(guò)自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測(cè)量。
產(chǎn)品開發(fā)-量測(cè)試作品
1.攜帶到合作廠商等，直接在現(xiàn)場(chǎng)量測(cè)效率Up
2.試作階段的檢查方法商定效率Up
規(guī)格樣式
量測(cè)原理 | 反射分光法（光干涉法）、非破壞性量測(cè) |
膜厚量測(cè)范圍 | 1~50μm（顯示上限60μm） |
重復(fù)精度 | 2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm） |
量測(cè)時(shí)間 | 1秒內(nèi) |
量測(cè)層數(shù) | 1層 |
數(shù)據(jù)輸出 | 附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案 |
量測(cè)Spot | Φ1mm以下 |
重量 | 約1.1kg |
選配
筆型探頭
能夠測(cè)量狹窄區(qū)域或形狀的樣品。 探頭端Φ6mm。
膜厚測(cè)量范圍 | 1μm～50μm |
測(cè)量重復(fù)性 | 0.01μm |
測(cè)量時(shí)間 | 1秒以下 |
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